南京诚芯集成电路技术研究院依托中国科学院微电子研究所,由中国科学院微电子研究所及核心科研骨干、南京市浦口科创投资集团有限公司三方,于2018年11月在南京浦口高新区注册成立。并于2019年第一季度通过南京市新型研发机构备案。2020年研究院已通过双软认证、江苏省民营科技企业、科技型中小企业备案,高新技术企业等资质。孵化引进上,截止目前实现孵化企业6家,引进企业19家。
目前研究院拥有员工17人,其中博士5人,硕士6人,高级职称5人,并计划引进10名左右专业科研人员以增强研发实力。除此之外,诚芯还建立了与中国科学院微电子研究所计算光刻研发中心等研发机构的资源共享。计算光刻研发中心拥有国际先进的计算光刻软件平台,装备了Tachyon(ASML/Brion产品,国际**光源-掩模协同优化软件,全球市场占有率**),Mentor Calibre(Mentor Graphics公司产品,业界**的OPC专业仿真软件),Synopsys EUV仿真平台等商用软件。计算光刻研发中心凭借中科院优秀的师资资源,聚集了一批优质学术科研人才,专职研发人员近二十名,博士学位的比例超过七成。诚芯的服务器群目前已经与微电子所服务器机房互联,共享先进软件平台,实现了与微电子所在联合研发、技术咨询、技术支持等各个层面的无缝衔接。
诚芯研究院提出了“国产化与自主可控”的口号,通过采取“工艺服务+软件工具相结合”的形式,一方面,贴近产业界真实需求,以定制化的技术服务形式解决他们在研发和生产中遇到的实际问题;另一方面萃取实际技术服务中真实经验,规划并自主研发一套“集成电路虚拟制造平台(Virtualfab)” ,为企业提供工具+服务的一揽子解决方案。 诚芯成立两年多来,先后研发了“基于建模的光学邻近效应校正系统(iLitho)” 、 “纳米尺寸光刻图形质量评估软件(iCDMet)” 、 “先进节点对准/对准系统”、“先进节点原子层沉积(ALD)工艺建模系统”、“直写光刻机配套OPC系统”等。分别与京东方集团、华润微电子、上海光学精密机械研究所、上海微电子装备集团、无锡影速半导体、南大光电材料股份、山东星泰克微电子、厦门恒坤半导体等一批产业界建立了合作关系。研究院充分发挥技术研讨会、专业学术刊物、学术自媒体等多种形式与业界保持联系与宣传沟通。通过与东南大学微电子学院、南京邮电大学微电子学院的交流互动,展开课题合作,为研究院本地人才储备打下基础。
目前中国在集成电路制造领域还相对落后,尤其在设备、材料、工艺等领域。诚芯研究院是国内少有的从事集成电路工艺研究和产业化的企业,相信通过未来几年的不懈努力,我们有信心成长为国内半导体工艺领域的知名企业。
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